Общий обзор

STACIS III является компактной версией активной системы виброизоляции STACIS III * *. Он обеспечивает такую же отличную виброизоляцию при уменьшенной высоте.

STACIS III идеально подходит для использования на подвижном полу без или с очень низким полом, поскольку высота стандартной системы STACIS III делает прибор слишком высоким.

В конфигурации трех сепараторов высота сепаратора составляет менее 60% от обычной высоты STACIS III. В системах с более чем тремя сепараторами высота будет составлять от 60 до 70% в зависимости от параметров полезной нагрузки. Более подробную информацию см. в спецификациях ниже.

Преимущества STACIS III

По сравнению с обычной системой STACIS III высота сепаратора * * на 42% ниже, а производительность не снижается.

STACIS в сотни раз прочнее, чем воздушный виброизолятор, и не имеет никаких ограничений для системы воздушного виброизоляции. Он не имеет « мягкой» подвески и, в отличие от активной воздушной системы, STACIS может быть размещен под инструментом с внутренней активной воздушной виброизоляцией, так что обе системы работают в режиме * *.

Уникальный последовательный дизайн и эксклюзивные высокомощные пьезоэлектрические технологии

Обеспечивает широкую активную полосу пропускания от 0,6 Гц до 150 Гц и 90% * * активную виброизоляцию от 2 Гц.

Свойства

Технические характеристики

Спецификация

Конструкция, размер, окружающая среда и требования к полезности виброизолятора

Технические характеристики контроллера DC - 2020

Пользователи и области применения STACIS
1 Микроэлектроника, полупроводник
▪ Обнаружение микросхем
▪ Микроскопическая литография
▪ калибровка маски
2 Научные исследования, нанотехнологии
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3 Лазерная станция
▪ Наука о жизни, разработка лекарств
4 Промышленное применение
▪ Прецизионная обработка

Почему выбирают активную систему?
▪ Начиная с < 1 Гц, наземная вибрация сильно устраняется, и пневматическая платформа не может эффективно удерживать вибрацию на этой низкой частоте
▪ Повышение качества, объема производства
▪ Более мелкие возможности визуализации.
▪ Передовые исследования
▪ Более стабильная, чем пневматическая платформа.
▪ * * Решения, отвечающие параметрам установки в стандартных местах SEM
▪ Снижение стоимости нового лабораторного и исследовательского оборудования.

Почему система выбирает STACIS
▪ В центре внимания исследователей, обеспечивая максимально возможную * * безсейсмическую среду.
▪ * * Сильные низкочастотные виброизоляционные системы на рынке.
▪ В настоящее время все производители SEM публикуют требования к параметрам установки, необходимые вибрационные параметры требуют активной системы виброизоляции для удовлетворения.
▪ STACIS * * был изобретен в 1990 году и получил дальнейшее развитие от TMC, разработав и установив тысячи активных виброизоляционных систем, которые являются надежным решением в области активного управления виброизоляцией.

STACIS на несколько сотен жестче, чем пневматический сепаратор.Б
Стабильное время, как ответ на возмущение, значительно сокращается из - за уникальной последовательной конструкции и идеально подходит для механического производства, динамической нагрузки, лазера или источника света, который должен быть установлен на независимом жестком столе.

Следующие преимущества в отрасли * *
▪ Активная виброизоляционная полоса пропускания STACIS 0,6 Гц - 150 Гц
▪ Активная вибрация с 6 степенями свободы устранена, вибрация 8 - 10 дБ при 1 Гц
▪ При 2 - 3 Гц виброизоляция может достигать 90% (20 дБ)

Профессиональные экологические исследования
1. Экологические исследования до и после установки, включая вибрации, магнитные поля, звуковые волны
После установки может быть обеспечена сертификация системы экологической системы
▪ Услуги по экологическим исследованиям
▪ Подготовка профессиональных экологических отчетов
▪ Предоставление вибраций, магнитных полей, акустического обнаружения и решений
▪ TMC рекомендует пользователям практические решения на основе своего обширного опыта
▪ Более 40 лет опыта работы в отрасли * *

Применить фотографии